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 Nettoyage Nano Strip  Model RSS124

 

NanostripL’équipement de nettoyage RSS 124 se compose d’un chassis en Polypropylene FM4910 avec une chambre de process et un capot en PVDF.

Le Nanostrip ou le sulfurique peroxide est appliqué sur la surface du masque par un bras oscillant à tracer une brosse rotative.

Cet équipement possède:

  1. un double confinement des lignes d’arrivées des acides, un bac de récupération avec détecteur de fuites.
  2. Un système de mesure de pH qui vérifie la présence d’acide dans la ligne de drain avant d’autoriser l’ouverture du capot de la chambre de process.
  3. Un système de mesure de la quantité d’acide restant dans les bouteilles.
  4. Des vannes d’isolations à l’arrière de l’équipement.
  5. Un élément chauffant pour l’acide ainsi qu’un autre pour l’eau DI.
  6. ne armoire de stockage des bouteilles d’acide.

Exemple de Chuck porte substrats

Brosse d’agitation des liquides

Système de préchauffage

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