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Série DCSe:

Nettoyage double face

Les Models de la série DCSe offrent une solution idéale pour le nettoyage sub-micronique double face des photo masques, tranche de silicium (Wafer) et divers substrats (Verre, Quartz, etc..). L’équipement peut être configuré avec différentes options de nettoyage tel que double buse haute pression, double buse mega-sonique, double brosse (Nylon ou PVA), des buses pour la pulvérisation de produits chimiques ou d’eau DI chauffée. On peut aussi configurer différents types de supports pour le maintient de pièces unitaire ou de plusieurs pièces en même temps. Equipement compatible (suivant le modèle) pour des substrats d’un diamètre de  300mm jusqu’à 730mm .

 

 

ChambreUTE -DF

 

 

 

  1. Spindle (Montré avec un porte substrat)
  2. Bras de nettoyage haute pression oscillant
  3. Buse séchage Azote Oscillante
  4. Bras brosse double face
  5. Buse de rinçage de Chambre (Option)
  6. Buse Eau DI chaude
  7. Buse Mega-sonique basse pression

DCSe 606                                                

 Spécifications détaillées

Nombre de bras disponibles : 2

Taille maximum des substrats : Diamètre 500mm

Vitesse de rotation maximum : 2000 tr/mn

Nombre de programmes : 10

Nombre de produits : 12

L’équipement offre diverses options tel que:

  • Buse mega-sonique montée sur le bras oscillant des buses haute pression
  • Buse eau DI chaude simple ou double face, montée sur le bras oscillant des buses haute pression
  • Bras brosse oscillant simple ou double face, avec ligne de dépôt basse pression d’agent tensio-actif avec ou sans mise en température des produits.

 

 

 

 

 

DCSe 607

Spécifications détaillées

Nombre de bras disponibles : 4

Taille maximum des substrats : 735mm de Diamètre

Vitesse de rotation maximum : 1000 tr/mn

Nombre de programmes : 10

Nombre de produits : 12

L’équipement offre diverses options tel que:

  • Bras oscillant avec dépôt basse pression d’agent tensio-actif, simple ou double face avec ou sans mise en température des produits
  • Bras brosse oscillant simple ou double face, avec ligne de dépôt basse pression d’agent tensio-actif avec ou sans mise en température des produits
  • Bras Oscillant avec Buse mega-sonique
  • Buse eau DI chaude simple ou double face, montée sur le bras oscillant des buses haute pression