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Bains, Lots de wafers en cassette

 

Dans cette solution, les soles mégasoniques sont positionnées en fond de cuve, les pièces ou substrats à nettoyer sont plongé verticalement dans le liquide de nettoyage.
La forme et la dimension des soles mégasoniques peut être adapté à l’équipement sur lequel elles vont être intégrées.
L’intégration dans un WetBench manuel ou automatique est rendue aisée par le fait qu’il n’est pas nécessaire de prévoir un refroidissement par eau.

Le matériau de la sole mégasonique peut être adapté aux produits chimiques utilises.